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文 | 华睿投资
今日，华睿投资完成理想万里晖数千万元投资。上海理想万里晖薄膜设备有限公司主营泛半导体领域和半导体领域高端pecvd（等离子增强化学气象沉积）装备（该产品是集成电路、光伏、led等产品的制造工艺中最不可或缺的关键环节），团队致力于为光伏、半导体和oled显示行业提供性能更先进、价格更低廉的高端制造装备，其量产型异质结电池用pecvd设备打破国际厂商的垄断，填补国内空白。
公司创始人陈金元博士、钱学煜博士于上世纪90年代与尹志尧博士同为美国应用材料公司核心技术高管，于2004年回国联合创立中微半导体，曾任中微半导体目前最主要的两大产品序列——刻蚀设备与mocvd设备的核心技术团队成员，后于2009年创立理想能源。2013年理想能源pecvd事业部拆分，陈金元博士、钱学煜博士联合胡宏奎博士创立上海理想万里晖薄膜设备有限公司，团队主要成员来自全球知名半导体装备制造企业，专业齐全、经验丰富、长于创新、精于管理，累计承担科技部863、上海市战略新兴重大产业项目等6项科研项目，申请超过50项国内外专利。
理想万里晖的量产型异质结电池用pecvd设备打破国际厂商的垄断，是国内第一台达标的量产型异质结电池用pecvd设备。其优势包括：
1. 首创u型叠层hit用pecvd设备，叠层设计共用真空、控制、电气系统及外腔系统，相比于本公司第一代产品，产能翻倍；u型设计有效利用客户生产场地面积，便于后期自动化设备的匹配；
2. 设计全自动化运行；
3. 产能高，年产能可达100mw/年；
4. 射频等离子体匹配系统具有独创性，等离子体稳定时间<0.5秒，射频反射率< 2%；
5. 薄膜厚度不均匀性≤3%，voc不均匀度≤1%；
6. 生产的电池片良率>99%；
7. 设备开机率>90%。
本次融资后，理想万里晖将继续致力于前沿高端光伏设备的研发，并在现有基础上延伸产业链，开发大面积石墨烯和集成电路半导体领域用pecvd设备。
